日本SPEEDFAM双面抛光研磨机 40B大型抛光机
主要技术参数
研磨盘尺寸：920*280*40mm
磨盘转速： 0~60rpm
游行轮参数：公制M=3，Z=153，P=12°
游行轮数量：5个
***小研磨厚度：5/Φ190mm,0.4/Φ150mm
可控研磨厚度：20mm（可根据要求特殊定制）
研磨直径：Φ290mm
主电机：7.5KW4级三相AC380V
太阳轮电机：1.5KW4级三相AC380V
内齿圈电机：1.5KW4级三相AC380V
气源：0.5~0.7Mpa
外型尺寸：2100×1650×2500mm
机器重量：~3000kg
砂泵电机（带搅拌）：4KWAC380V
主机精度
下研磨盘端面跳动：0.08mm
淹没面平面度：0.02mm
太阳轮径向跳动：0.20mm
内齿圈径向跳动：0.25mm
加工精度（四个修正轮修研后）
一致性：0.008mm
平面度：0.005m
平行度：0.006mm
加工能力
单片承片量：Φ1704片，Φ2002片
整盘承片量：Φ7020片，Φ2001
